AT Optical Instruments Co., Ltd.
Präzisionsoptik für Innovationen in der Halbleiterindustrie
AT Optics liefert fortschrittliche optische Komponenten und Beschichtungen für die Halbleiterfertigung, Inspektion und Messtechnik. Mit modernster Dünnschichttechnologie und integriertem optomechanischem Design unterstützen wir OEMs dabei, engere Toleranzen, höhere Laserbelastbarkeit und herausragende spektrale Leistung im UV-, sichtbaren und IR-Bereich zu erzielen – für Innovationen der nächsten Generation in Mikroelektronik und Nanofertigung.
Photolithografie
Inspektion & Messtechnik
Laserbearbeitung
Dünnschichtabscheidung & Ätztechnik
